Los sistemas de oxidación térmica trabajan a altas temperaturas para convertir los contaminantes en dióxido de carbono y vapor de agua. Normalmente, la reacción tiene lugar a una temperatura que varía entre 750°C y 850°C. A estas temperaturas, con una buena mezcla y suficiente oxígeno, la eficiencia de destrucción en la cámara de combustión es casi del 100%.